单晶硅智能视觉控制器

INTRODUCTION

产品简介
单晶炉智能视觉控制器是图知科技基于数字图像处理、机器视觉、模式识别、深度学习等技术,对直拉单晶硅工艺的关键技术指标进行研究,研发出的一套智能视觉控制系统,深度感知炉内各项指标,辅助单晶厂操作人员进行拉晶工作。大大改善了过去拉晶环节需要大量人工操作,有极大误差,且效率低下,得到产品不均匀,可利用率低等问题。单晶炉智能视觉控制器能够提供针对配方的智能化及个性化功能,提升工人20%的拉晶操作效率。

FORM

产品形态
单晶硅智能视觉控制器由以下软件、硬件两部分组成
硬件系统
高性能无风扇工控机、工业级触摸显示器、高清工业相机及镜头、千兆工业POE交换机
软件系统
智能视觉控制器 windows 系统服务、智能视觉控制器定制化界面
FUNCTION
功能介绍
01 直径测量
通过拟合圆的方式对单晶硅晶体的光圈进行补全,从而计算出单晶硅棒的直径,此方法抗干扰性强,测量精准度高,能够适应多种炉型。
02 亮度测量
通过数字图像处理技术,对图像中液面区域进行筛选,对于筛选出的液面区域进行亮度测量,保证了亮度测量的稳定性,与传统测量方法相比更能反映出炉内温度的整体情况。
03 绝对液口距测量
我司在业内首创采用单相机实现液面-导流筒实际距离的测量方法,通过标定系统能够一次性直接测得液面与导流筒之间的绝对距离,最大程度减少人工参与,辅助其他模块对炉内温度进行更精准的控制。
04 晃动检测
为避免晶体的异常晃动使单晶硅撞击到导流筒从而造成危险,视觉控制器实时检测晶体晃动程度,当超过设定阈值时,便发出警报,提前告知操作人员进行人为干预。
05 断线检测
通过深度学习的方式,采集大量的生产数据进行标定,训练断线检测模型,图知科技的断线检测准确率可达98.7%,远高于同行业其他公司使用传统图像处理方式的断线检测准确率。
06 放肩开叉检测
开叉检测,直拉式单晶硅生产中,不同工艺之间对放肩开叉大小与角度有不同的要求。对放肩形态施加控制的前提是需要对当前开叉状态(大小与角度)进行准确测量。
ADVANTAGES
产品优势
测量误差小
直径测量误差小于±0.2mm,使得客户的单晶硅棒良品率大大提高。
测温准确性高
能够测量整体液面的平均亮度,减少由于部分液面亮度突变导致的噪声,极大地提高了测温的准确性。
断线检测准确率高
断线检测准确率高达98.7%。
测量方式先进
使用先进的液口距测量方式,能够使用单目相机测量绝对液口距数值。
推广能力强
采用与神经网络结合的方式对开叉形态进行检测,相较于传统特征提取方式推广能力强、适应范围较大。
CASE
应用案例
乐山某生产基地
曲靖某生产基地
乌海某生产基地